指固体废物或污泥之最终处置，有焚化、掩埋、土壤调整及其他方法等，此外依掩埋废弃物之种类，可将掩埋分成四种，即(1)卫生掩埋：将一般废弃物掩埋于不透水材质或低渗水性土壤所构筑，并设有渗出水、废气收集及地下水监测装置之掩埋场处理方法。(2)封闭掩埋：将有害废弃物掩埋于抗压及双层不透水材质所构筑，并设有阻止污染物外泄及地下水监测装置之掩埋场地。(3)安定掩埋：将一般事业废弃物置于掩埋场，设有防止地盘滑动、沈陷及水土保持设施或措施之方法。(4)土地利用：用于农村土地之改良。在其他方法上有深井注入，将废弃物注入废弃之深井以防止二次公害之处理方法，再利用、太空抛弃等。禁止直接最终处置之情况：(1)依规定先经中间处理而未遵行者(2)属液体废弃物(3)未经前处理或未符合水污染防治法对土壤理之规定者(4)其他经中央主管机关公告者。