【步进光刻机】的繁体字： 步進光刻機
【步进光刻机】的读音为 bù jìn guāng kè jī，无声调拼音为 bu jin guang ke ji，简拼为 BJGKJ
【步进光刻机】的笔画分别为7画、7画、6画、8画、6画，部首分别为止部、辶部、儿部、刂部、木部。
【分字繁体字】步的繁体字 进的繁体字 光的繁体字 刻的繁体字 机的繁体字
步进光刻机是把投影掩模版上的图形与涂胶硅片进行对准，而后从一点到另一点逐场曝光。