【聚焦环】的繁体字： 聚焦環
【聚焦环】的读音为 jù jiāo huán，无声调拼音为 ju jiao huan，简拼为 JJH
【聚焦环】的笔画分别为14画、12画、8画，部首分别为耳部、灬部、王部。
【分字繁体字】聚的繁体字 焦的繁体字 环的繁体字
聚焦环和等离子体处理装置，在可以提高处理的面内均匀性的同时，与现有技术比较，还可以减小淀积对半导体晶片的周缘部分背面一侧的发生。