【硼磷硅玻璃】的繁体字： 硼磷矽玻璃
【硼磷硅玻璃】的读音为 péng lín guī bō lí，无声调拼音为 peng lin gui bo li，简拼为 PLGBL
【硼磷硅玻璃】的笔画分别为13画、17画、11画、9画、14画，部首分别为石部、石部、石部、王部、王部。
【分字繁体字】硼的繁体字 磷的繁体字 硅的繁体字 玻的繁体字 璃的繁体字
硼磷硅玻璃(Boro-phospho-silicate Glass，BPSG)，即掺杂了硼和磷的二氧化硅作为第一层金属前介电质(PMD)以及金属层间介电质(AVID)在IC制造中有着广泛的应用。二氧化硅原有的有序网络结构由于硼磷杂质(B2O3、P2O5 )的加入而变得疏松，在高温条件下某种程度上具有像液体一样的流动能力( Reflow )。因此BPSG薄膜具有卓越的填孔能力，并且能够提高整个硅片表面的平坦化，从而为光刻及后道工艺提供更大的工艺范围。